OP‑6000 棱镜耦合仪

OP-6000 棱镜耦合仪可测量晶体、薄膜、光波导的折射率、膜厚与传输损耗,折射率精度 ±0.0005,支持多波长选配,可联动 FilmSure 膜厚仪,提供膜厚基准溯源,适用于企业研发与高校科研等场景。


核心优势

  • 折射率测量精度 ±0.0005,一站式多参数检测
  • 波长覆盖 405nm-1650nm,可选配375nm、266nm
  • 气动耦合无耦合液,TE/TM 模式支持,操作简便
  • 可与膜厚仪联动,构建研发到量产的数据闭环
可测量样品
晶体
半导体晶圆
基底材料
薄膜材料
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核心参数
折射率精度

±0.0005

膜厚精度

±(0.5%+50 Å)

波导损耗重复精度

±5%

膜厚测量范围

0.4‑150μm

多波长可选

标配 405‑1650nm ,可选配375nm、 266nm