OptoPrism系列棱镜耦合仪

VS

椭偏仪

原理对比

光波导技术

测量不同角度的输出的模态，

计算得到折射率和厚度

原理

偏振态变化

接受由被测样品反射回来的

单色光的强度和偏振态

可以

可同时测量双层膜的 4 个参数

 (两层膜的折射率和厚度)

测量双层膜

不可以

只能测单层膜

不影响

光学吸收

影响

非常敏感，影响测量精度

薄膜厚度测量对比

0.4μm - 150μm

测量范围

0.1nm - 50μm

可以

直接得到膜厚和折射率值

直接测量薄膜厚度

可以

测量＞50μm 以上的膜，须由另一台仪器测出初始值，且精度会受到影响

可以

透明基底薄膜测量

不可以

折射率测量对比

高

精度：±0.0005

折射率精度

低

精度低1-2数量级，

依赖光源和探测器性能

高

分辨率：±0.0003

折射率分辨率

低

分辨率低1-2数量级，

依赖光源和探测器性能

可以

只测量体材料的折射率实部

体材料折射率测量

可以

可测量体材料的实部和虚部,

但精度更低

可以

可测量薄膜和体材料x,y,z三方向的折射率和双折射率

各向异性测量

不可以

不影响

基底材料敏感度

影响

需要预先知道基底材料的折射率的实部和虚部