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FA/VG/MT 高精度量测系统
针对光无源器件精密尺寸、光纤间距、偏心值、角度等核心参数的高精度非接触式设备，动态上下料重复性3σ≤0.1μm。
量测功能
l 节距误差（Pitch Error）
l X 向偏差（X Difference）
l Y 向偏差（Y Difference）
l 角度偏差（Angle）
l 纤芯深度（Core Depth）
l 纤芯直径（Diameter）
实测案例
36 CH V-Groove 样品实测视频
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