技术参数
| 参数名称 | 值和范围 |
|---|---|
| 测试波长 | 266 - 1650 nm（6 个可选波长） |
| 折射率精度 | ±0.0005 |
| 折射率分辨率 | ±0.0003 |
| 折射率测量范围 | 1.0-1.8 |
| 1.8-2.4 | |
| 2.4-3.35（选配棱镜） | |
| 厚度精度 | ±（0.5%+50Å) |
| 厚度分辨率 | ± 0.3% |
| 膜厚测量范围 | 0.4 - 150μm |
| 波导损耗测量范围 | 0.05-50dB/cm |
| 波导损耗精度 | ± 5%（i.e. 1dB/cm，测量误差±0.05 dB/cm） |
| 样本尺寸 | 最小 3 mm*3 mm |
| 最大 50 mm*50 mm | |
| 基底厚度：＜1mm | |
| 样品旋转台 | -90°~90° |
| 温度测试范围 | 室温-200℃ |
