OptoPrism系列棱镜耦合仪与椭偏仪的比较

 

 

VS

OptoPrism系列棱镜耦合仪

椭偏仪

原理对比

光波导技术

测量不同角度的输出的模态,计算得到折射率和厚度 

原理

偏振态变化 

接受由被测样品反射回来的单色光的强度和偏振态

可以

可同时测量双层膜的4个参数(两层膜的折射率和厚度)

测量双层膜 

不可以

只能测单层膜

不影响

光学吸收

影响

非常敏感,影响测量精度

薄膜厚度测量对比 

0.4 μm - 150 μm

测量范围

0.1 nm - 50 μm

可以

直接得到膜厚和折射率值

直接测量薄膜厚度

可以

测量＞50μm 以上的膜，须由另一台仪器测出初始值，且精度会受到影响

可以

 

透明基底薄膜测量

不可以

折射率测量对比

高

精度：±0.0005

折射率精度

低

精度低1-2数量级，依赖光源和探测器性能

高

分辨率：±0.0003

折射率分辨率

低

分辨率低1-2数量级，依赖光源和探测器性能

可以

只测量体材料的折射率实部

体材料折射率测量

可以

可测量体材料的实部和虚部,但精度更低

可以

可测量薄膜和体材料x,y,z三方向的折射率和双折射率

各向异性测量

不可以

 

不影响

 

基底材料敏感度

影响

需要预先知道基底材料的折射率的实部和虚部